TSMC-Fabrikausrüstung: Freies 22-nm-Equipment aus Taiwan geht nach Deutschland

TSMC rüstet heimische Fabriken auf, das freie Equipment dafür geht in die deutsche Fabrik alias ESMC. So schlägt man zwei Fliegen mit einer Klappe, denn die N4-Prozessfamilie wird noch Jahre vor Ort gebraucht, während die bisherige 22-nm- bis 28-nm-Fertigung an anderer Stelle Verwendung findet.

Fab 15 in Taiwan wirft 22-nm-Equipment raus

TSMCs Fab 15 hat schon einige Jahre auf dem Buckel, denn sie wurde bereits 2011/2012 in Betrieb genommen. Stetig erweitert besteht sie nun primär aus zwei Teilen: Fab 15A wurde für Chips in Strukturgrößen von 28 nm bis hinab zu 22 nm gebaut, Fab 15B wiederum war die Geburtsstätte von N7+, also dem ersten Prozess von TSMC, der EUV-Lithografie in der Serienfertigung nutzte. Die Fabrikteile sind dabei physisch getrennt, Fab 15A liegt mit vier kleineren Phasen (wie Ausbauten bei TSMC heißen) im Osten, auf der anderen Seite der Straße und Kreuzung liegt die größere Fab 15B mit drei Fabrikgebäuden.

TSMC braucht mehr moderne Kapazität

Im Quartalsbericht vor drei Wochen erklärte TSMC bereits, erstmals in der Geschichte zusätzlich ältere Fertigungskapazität auszubauen – normalerweise wird nach der Weiterentwicklung zu einem neuen Prozess nur dieser mit neuen Fabriken unterstützt. Dabei bezog sich das Unternehmen einerseits auf die 3-nm-Fertigung, für die an Fab 18 ein neues Gebäude und damit eine zusätzliche Phase entsteht.

Fab 15 als Vorgängerwerk wird jedoch ebenfalls neu ausgerüstet. Der neuere Teil Fab 15B soll von aktuellen N7+ bis N5-Prozessen auf N3 hochgestuft werden. Das geht mit relativ wenig Aufwand, da sich die grundlegenden Teile in der Produktion nicht verändert haben – schließlich wurden hier ja schon die stets aufrüstbaren EUV-Systeme genutzt.

Fab 15A wechselt von 22 nm auf 4 nm

Anders sieht bei Fab 15A anders aus. Diese ist lediglich mit DUV-Scannern ausgestattet, hier eine Aufrüstung zu vollziehen ist entsprechend umfangreicher. TSMC wird diese Anlage auf N4 aufrüsten, dem aktuellen hochklassigen Mainstream-Prozess, der noch Grundlage für viele Jahre und deshalb hoch gefragt ist. Dafür muss in Fab 15A aber deutlich mehr entfernt werden, was vom Zeitpunkt für TSMC jedoch passend gewählt erscheint: Die Gerätschaften für die 22-nm-Produktion eignen sich perfekt für den Fabrikbau in Deutschland. Bei ESMC sollen in dieser Fertigungsstufe Chips unter anderem für den Automotive-Markt gebaut werden.

Die Umrüstkosten für die Fab 15 liegen laut taiwanischen Medien bei rund 100 Milliarden New Taiwan Dollar, umgerechnet etwa 3,2 Milliarden US-Dollar. Ein Zeitplan wurde noch nicht bekannt, da Fab 24 in Dresden aber bereits Ende 2027 die Produktion starten soll, muss die Ausrüstung dafür entsprechend in den kommenden Monaten angeliefert werden.