ASML am Pranger: US-Regierung beschuldigt ASML der EUV-Nutzung in China

Ein EUV-System soll es nach China geschafft haben, beschuldigt die US-Regierung aktuell ASML. Das Unternehmen weist das energisch zurück, doch ob sich die USA damit zufrieden geben, ist fraglich. Seit Jahren sind strenge Auflagen für die modernsten Chipfertigungsmaschinen in Kraft.

Der Standpunkt von ASML ist ganz klar und wurde breit an die Medien verteilt: Man habe keine EUV-Maschine oder Teile davon an China geliefert.

ASML ⁠has never shipped an EUV machine to China nor have we shipped to China any component, module or equipment specially designed to be used in an EUV machine.

ASML verstehe die Bedenken bezüglich der Nationalen Sicherheit der USA und habe deshalb den Exportrichtlinien stets zugestimmt und sie beachtet, führt das Unternehmen aus. Des Weiteren erklärt ASML, dass man bereits in der Vergangenheit unbegründete und falsche Gerüchte widerlegen musste, die die Exportkontrollen nach China betrafen und so dem Ruf des Unternehmens schadeten. Was für Beweise die US-Regierung nun haben will, ist unklar. Unzählige Anfragen durch große US-Medien wurden bisher nicht beantwortet.

ASML ist seit Jahren im Fokus der Exportrichtlinien. Denn mit ihren klassischen Systemen produzieren Chinas Hersteller auch heute noch die modernsten Chips. Deshalb wurden auch diese stetig mehr eingeschränkt, auf EUV hatte China aber von vornherein keinen Zugriff.

Bereits seit dem Frühjahr ist ASML zudem offensiver in Washington unterwegs, um zu zeigen, wo und wie EUV-Systeme eingesetzt werden. Demnach sind aktuell 314 EUV-Systeme weltweit im Einsatz, 26 sind bereits ausgemustert worden – vermutlich frühe Forschungssysteme. Keines dieser Systeme ist jedoch in China. ASML überwacht jedes der Systeme ständig, jede Unterbrechung in der Fertigung, abnormales Verhalten oder nur der Verlust der Verbindung wird sofort registriert. Ein Kunde kann das System deshalb nicht entfernen, transportieren oder andere Dinge damit anstellen, ohne dass ASML es mitbekommt und entsprechend freigibt. Hierzu gab es deshalb stets auch Berichte über einen sogenannten „Kill-Switch“.

China ist insbesondere aufgrund fehlender EUV-Lithografie in Rückstand bei der Chipfertigung geraten. Mit herkömmlicher Immersionslithografie können nur Chips bis hinab zu 7 nm und mit einigen aufwendigen Tricks eventuell auch in 5 nm gefertigt werden, jedoch ist die Ausbeute (Yield) dann eher gering. Bei westlichen Herstellern, allen voran TSMC, aber auch Samsung, Intel, SK Hynix und Micron ist ohne EUV heutzutage kaum mehr ein neues und modernstes Produkt möglich.

Ende des letzten Jahres gab es bereits Gerüchte, wonach China Teile von ASML, Nikon und auch Canon nutze, um ein EUV-System zu bauen. Dass über kurz oder lang Chinas Hersteller auch EUV beherrschen werden, ist in der Branche unbestritten, die Frage richtet sich nur nach dem Wann, Wie und Womit.