Die Vermeidung von Fehlern um eine höchstmögliche Ausbeute in der Chip-Fertigung zu erzielen, hat TSMC auf dem Schirm: mit Pellicles. TSMC ist bei dem Thema aber bereits ziemlich gut dabei, anders soll es bei Samsung und auch Intel aussehen. Primär arbeiten sie ohne Pellicles.

Pellicle steht im einfachsten Sinne für eine Schutzschicht. Es ist eine durchsichtige hauchdünne Membran, die über die in der Chip-Produktion benötigten Masken gelegt wird. Diese Schicht muss aber einiges aushalten, immer stärker werdende EUV-Laser mit nun bis zu 400 Watt und 1.000 Grad Celsius verdampfen diese sprichwörtlich in ein paar Tagen. ASML hatte das früh in der Entwicklung der EUV-Systeme erkannt, und bietet entsprechend auch eine Lösung an. Doch in Serie ging diese bisher nicht.

Das Risiko einzugehen, diese Pellicles in Zukunft nicht zu nutzen, ist hoch: schon ein kleinster Staubkorn kann die Ausbeute in der Fertigung in den Keller rauschen lassen, da die Chips nach der Belichtung dann mitunter komplett unbrauchbar sind. Ständige Inspektionen sind so an der Tagesordnung, das kostet Zeit, Reparaturen sind mitunter dennoch unmöglich. Frederick Chen hat neben einem Substack-Posting dazu ein kleines Video auf YouTube veröffentlicht.

Bei DUV an der Tagesordnung, bei EUV (noch) nicht

In der klassischen DUV-Fertigung sind Pellicles an der Tagesordnung, auch nutzen sie da fast alle, weil sie relativ günstig sind. The Elec berichtete kürzlich, Samsung kauft diese für rund 1 Million Won pro Stück ein, also nur rund 600 Euro. Der Preis für ein EUV-Pellicle liegt gemäß den neuen Verhandlungen knapp beim 50-fachen, also rund 30.000 Euro. Dies hat Samsung unter anderem bisher wohl davon abgehalten, Pellicles bei EUV zu nutzen. Dies könnte nun ein Grund sein, warum die Ausbeute bei EUV-Prozessen bei Samsung stets eher im niedrigeren Bereich liegt, während TSMC mit zumindest teilweisem Einsatz hier und da höhere Zahlen vermeldet.

Von TSMC wurden zu Beginn dieses Jahres Zahlen bekannt, die von Preisen über 10.000 US-Dollar sprechen, die EUV-Pellicles müssen demnach aber bereits alle 3 bis 4 Tage ausgetauscht werden, was den praktischen Einsatz überall erschwerte oder gar unmöglich gemacht hat. Deshalb hat TSMC versucht, den Einsatz so weit es geht zu minimieren und gar darauf zu verzichten, kommt nun anscheinend aber zu dem Schluss, dass es ohne diese in Zukunft nicht gehen wird, wenn eine hohe Ausbeute anvisiert wird.

Gleichzeitig gibt es aber neue Herausforderungen, denn die Laser wurden und werden immer stärker, die Schutzschicht geht noch früher kaputt. Neue Materialien wie eine carbon nanotube (CNT) membrane sollen helfen, gleichzeitig muss das Pellicle möglichst dünn bleiben, da es sonst Licht von der Lichtquelle selbst absorbiert, bevor es auf der Maske ankommt – dies soll natürlich nicht passieren.

TSMC will Pellicles selbst in Serie produzieren

DigiTimes berichtet nun, dass TSMC die älteren Fabs, deren Schließung kürzlich verkündet wurde, für die EUV-Pellicle-Herstellung nutzen würde. Der Hersteller hat mittlerweile so viele EUV-Systeme in den vielen Fabriken und Produktionslinien im Einsatz, dass diese Pellicles ständig gewechselt werden müssen.

Gleichzeitig schafft sich TSMC so etwas Luft und sorgt für entsprechend zusätzliche Kapazität und eine Diversifizierung der Lieferkette – bisher kommen die Pellicles wohl primär aus ASMLs Lieferkette, die Produktion in Großserie war bisher aber wohl vergleichsweise schwierig.

TSMCs Fab 3 könnte nun der Vorreiter dafür werden. Zudem kann das Pellicle aus eigener Herstellung noch genauer auf die TSMC-Produktionsmethoden angepasst und so verbessert werden. Beim N2-Prozess sollen diese dann bereits genutzt werden, spätestens dann mit A16 großflächig, hieß es bereits im Januar dieses Jahres.

Apple bezeichnet die AirPods Pro als die beliebtesten Kopfhörer weltweit. Die neue Generation bringt nicht nur Optimierungen bei bestehenden Features, sondern erweitert die Produktreihe um markante Neuerungen. Gleichzeitig müssen Anwender in bestimmten Regionen erneut auf einige Funktionen verzichten. Im Folgenden erfahrt ihr, welche Innovationen Apple integriert hat – und welche Einschränkungen bestehen.

AirPods Pro 3: Feinschliff bei Klang und Passform

Seit der ersten Generation glänzen die AirPods Pro mit der aktiven Geräuschunterdrückung (ANC). Apple verspricht nun eine Verdopplung der Effizienz im Vergleich zum direkten Vorgänger; gegenüber der ersten Generation sollen bis zu viermal mehr Umgebungsgeräusche gefiltert werden. Für Nutzer, die sich oft in lauten Umgebungen befinden, könnte das neue Modell damit besonders interessant sein.

Auch das Design wurde überarbeitet und soll einen stabileren Sitz bieten – insbesondere bei sportlicher Aktivität. Einen wesentlichen Anteil daran haben die überarbeiteten Ohreinsätze, die nun mit Schaumstoff verstärkt sind. Zudem erweitert Apple das Sortiment auf fünf Größen; neu hinzugekommen ist XXS.

Trotz verbesserter ANC-Leistung erhöht sich die Akkulaufzeit sogar: Mit aktiver Geräuschunterdrückung halten die AirPods Pro 3 bis zu acht Stunden durch, ein Plus von 33 Prozent gegenüber der zweiten Generation.

AirPods mit erweiterten Fitness-Funktionen

Nicht jeder iPhone-Besitzer verfügt über eine Apple Watch, um Trainingsdaten aufzuzeichnen. Diese Lücke adressieren die AirPods Pro 3 nun teilweise: Sie verfügen über integrierte Herzfrequenzsensoren, die Workouts erfassen. Auf dem iPhone lassen sich über 50 Trainingsarten starten, um etwa den von der Watch bekannten Bewegungsring zu schließen.

Passend dazu hat Apple den Schutz gegen Schweiß und Wasser verstärkt. Laut Hersteller erfüllen die AirPods Pro 3 nun die Anforderungen der IP57-Zertifizierung und sollen so auch intensiven Workouts und widrigen Wetterbedingungen standhalten.

Live-Übersetzung ohne die EU

Als weiteres neues Feature führt Apple eine Live-Übersetzungsfunktion ein. Über eine neue Geste aktiviert, reduzieren die AirPods Umgebungsgeräusche und übertragen gesprochene Inhalte in die eigene Sprache. Grundlage ist Apple Intelligence, das die Übersetzung direkt an die Kopfhörer liefert.

Die Funktion ist kompatibel mit AirPods 4 mit ANC sowie den AirPods Pro 2 und 3, setzt jedoch ein iPhone mit iOS 26 und Apple Intelligence voraus. Unterstützt werden aktuell Englisch (UK/US), Französisch, Portugiesisch, Spanisch und Deutsch. Wie bereits bei anderen Diensten weist Apple allerdings darauf hin, dass die Funktion in der Europäischen Union nicht verfügbar ist. In der deutschen Pressemitteilung fehlen daher entsprechende Hinweise.

Preise und Verfügbarkeit

Die AirPods Pro 3 sind ab sofort für 249 Euro bei Apple vorbestellbar. Der Verkaufsstart erfolgt am 19. September 2025.