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Chipfertigung: China präsentiert eigenen EUV-Laser-Prototyp


Das Ökosystem zur Herstellung von modernen Chips mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik wächst allmählich in China. Das zwei Jahre junge Unternehmen Langdao Silex will eine passende Lichtquelle für heimische Lithografie-Systeme liefern. Die Firma orientiert sich dabei an ASML und dessen deutschem Laserlieferanten Trumpf: Auch in chinesischen Maschinen soll Plasma das EUV-Licht erzeugen (Laser-Produced Plasma, LPP).

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Laut zahlreichen asiatischen Medienberichten hat Langdao Silex einen Prototyp seiner EUV-Lichtquelle auf der 26. China International Industry Fair (CIIF) gezeigt. Die Herstellerseite nennt bereits grobe Spezifikationen zum sogenannten FlintNano LPP-OXXO. Demnach soll der Laser eine Leistung von 1000 Watt aufweisen und Zinntröpfchen bis zu 20.000-mal pro Sekunde beschießen. Aus dem erhitzten Zinn entsteht das Plasma.

Die Firma nennt eine „EUV-Power“ von mehr als 15 Watt. Vermutlich ist damit das Licht gemeint, das die erhitzten Plasmatröpfchen emittieren. Eine Lichtwellenlänge gibt die Firma bislang nicht an. Bei ASML sind es 13,5 Nanometer und damit nahe an Röntgenstrahlung. Mit den Lithografie-Systemen stellen die Chipfertiger TSMC, Intel und Samsung Chips ab der 7-nm-Generation her. Bei der aktuellen 2-nm-Generation sind die Maschinen unerlässlich. ASML ist weltweit der einzige Hersteller von EUV-Systemen. Aufgrund von Exporteinschränkungen darf die niederländische Firma nur ältere Typen nach China verkaufen.


Ein industrielles Lasersystem mit mehreren Modulen und einem Serverschrank.

Ein industrielles Lasersystem mit mehreren Modulen und einem Serverschrank.

Das komplette geplante Lasersystem von Langdao Silex.

(Bild: Langdao Silex)

Mit Trumpf-Lasern für ASML-Systeme sind die chinesischen Werte nicht vergleichbar. Ein CO₂-Laser läuft da mit wenigen Watt an, fünf Verstärkerstufen erhöhen die Leistung dann auf 40.000 Watt. Aktuell fallen 50.000 Zinntröpfchen pro Sekunde in eine Kammer, jedes wird zweimal beschossen. Der Laser muss also 100.000 Hertz schaffen. Das reicht für 600 Watt EUV-Lichtleistung.


Ein komplexes technisches Lasersystem mit mehreren Modulen auf einer Plattform.

Ein komplexes technisches Lasersystem mit mehreren Modulen auf einer Plattform.

Trumpfs CO2-Laser inklusive Verstärker für EUV-Systeme von ASML. Das komplette Konstrukt wiegt mehr als 17 Tonnen und ist deutlich größer als Chinas Prototyp.

(Bild: Trumpf)

Zahlreiche Spiegel lenken das Licht über eine reflektierende Maske mit der Transistorblaupause zum Silizium-Wafer. Weil jedes Optikelement Licht schluckt, kommen am Wafer nur noch wenige Watt an. Für schnellere Belichtungszeiten will ASML in Zusammenarbeit mit seinen Partnern daher zunächst auf 1000 und dann 1500 Watt emittierter Lichtleistung erhöhen. Die Frequenz steigt dann auf 300.000 Laserschüsse pro Sekunde.

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Querschnitt eines komplexen Industrie-Systems mit optischen Elementen.

Querschnitt eines komplexen Industrie-Systems mit optischen Elementen.

ASMLs EUV-Lithografie-System Twinscan NXE:3800E. Der Trumpf-Laser befindet sich typischerweise auf einer Ebene unter dem eigentlichen Lithografie-System. Der Laserstrahl wird zur Maschine geleitet und trifft dort (rechts) auf das Plasma. Anschließend leiten mehrere Spiegel das EUV-Licht zum Wafer.

(Bild: ASML)

Im Vergleich ist fraglich, ob der FlintNano LPP-OXXO mit seinen 15 Watt Ausgangsleistung für Produktionssysteme geeignet ist. Interessanter könnte die folgende „High Power“-Version werden, die sich aktuell aber lediglich in der Konzeptphase befindet.

Mitarbeiter von Langdao Silex sollen am Messestand eingeräumt haben, dass die Serienreife des FlintNano LPP-OXXO noch drei bis fünf Jahre entfernt sei. Die stärkere Version dürfte noch länger brauchen. In bisherigen Test-Lithografie-Systemen verwendet China daher wahrscheinlich Komponenten aus ASML-Geräten. Die Laser von Langdao Silex sollen zu 90 Prozent aus chinesischen Komponenten bestehen.

Einige Zeit nimmt schließlich auch die Integration in ein Lithografie-System in Anspruch. ASML und seine Partner benötigten mehrere Jahre allein dafür, EUV-Lithografie langzeittauglich zu machen. Vor allem zwei Probleme bereiteten Kopfzerbrechen: Verunreinigungen durch Zinnspritzer und der hohe Verschleiß der Belichtungsmasken.

Langdao Silex kämpft offenbar mit ähnlichen Problemen: Als größte Baustellen nannten Mitarbeiter am Messestand die Ausgangsleistung und die Langzeitstabilität. Die Herstellerseite nennt eine ununterbrochene Arbeitszeit von mehr als 100 Stunden. Bis China alle Komponenten in Serie herstellen kann und die Produktionsprobleme gelöst hat, könnten noch 15 Jahre vergehen, sagt Frank Rohmund, Chef von Zeiss SMT. Die Firma stellt als einzige weltweit die hochreinen Spiegel her, die ASML benötigt.


(mma)



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Microsoft-Ausfall: Woran es lag und wer besonders litt


Eine stundenlange Großstörung hat weltweit Unternehmen und Verbraucher von zentralen Cloud-Angeboten des Software-Konzerns Microsoft abgeschnitten. Betroffen waren nicht nur der E-Mail-Dienst Outlook, sondern generell Dienste aus dem Cloud-Paket Microsoft 365. Beim Bürokommunikations-Angebot Teams etwa funktionierten das Planen von Besprechungen und Kalender-Anbindungen nicht richtig. Zudem waren der KI-Assistent Copilot sowie Schnittstellen zu Drittanbietern zeitweise gestört, darunter KI-Dienste wie OpenAI und Anthropic.

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Microsoft machte zum Freitagnachmittag nach und nach Fortschritte – bis die Systeme dann wieder stabil liefen. Die Dienste seien zur Sicherheit schrittweise hochgefahren worden, auch wenn es dadurch länger gedauert habe. Der Konzern betonte danach, die Störung sei auf ein hausgemachtes Problem und nicht auf eine Cyberattacke oder KI-Aktivität zurückgegangen.

Der Grund habe letztlich in einem zuvor durchgeführten Upgrade der Netzwerk-Kapazität gesteckt. Ein dabei eingeführtes Problem sei erst nach jüngsten Netzwerk-Änderungen in Erscheinung getreten, hieß es. Später werde es einen ausführlichen Bericht zu dem Zwischenfall geben.

Die Deutsche Bahn meldete wegen der Störung kaum Probleme. „Züge fahren unabhängig von Microsoft-Systemen, deshalb läuft der bundesweite Bahnbetrieb stabil“, teilte ein Sprecher des bundeseigenen Konzerns mit. In ganz wenigen Fällen sei es zu Verzögerungen gekommen, „weil kurzfristige Fahrplananpassungen nicht per E-Mail versendet werden konnten“. Bei der Lufthansa gab es nach Angaben eines Sprechers keine Auswirkungen auf den Flugverkehr. Es seien andere Systeme im Einsatz. Auch die Flughäfen in Frankfurt und Berlin teilten mit, dass die Microsoft-Probleme sich nicht auf den Flugbetrieb auswirkten.

Bei Deutschlands größtem Strom-Verteilnetzbetreiber Eon war der Betrieb der Energienetze nach eigenen Angaben nicht betroffen. Grund dafür sei eine klare Trennung zwischen Systemen für Informations- und für Betriebstechnologie, erklärte eine Sprecherin. Letztere liefen auf speziell abgesicherten Infrastrukturen, die nicht von den betroffenen Microsoft-Diensten abhängig seien.

Im Frankfurter Finanzdistrikt war wie vielerorts die interne Kommunikation gestört. Bankfunktionen seien nicht betroffen und liefen alle ohne Störungen, erklärte ein Sprecher der Commerzbank. Bei der Deutschen Börse hieß es, der Wertpapierhandel laufe wie gewohnt.

Nach Angaben der Bundesregierung hatte die stundenlange Störung keine größeren Auswirkungen auf die Verwaltung. „Aus der Bundesverwaltung liegen uns keine Meldungen über größere Ausfälle vor“, sagte ein Sprecher des Digitalministeriums in Berlin. Man gehe jedoch von einer großen Betroffenheit in der deutschen Wirtschaft aus. Beim Bundesamt für Sicherheit in der Informationstechnik (BSI) hieß es, von vielen Unternehmen seien Meldungen zum Ausfall bei der Kommunikation eingegangen. Es gebe aber keine Hinweise auf einen Cyberangriff.

Ein Sprecher des Innenministeriums sagte, es gebe bisher keine Kenntnisse darüber, dass das Ministerium oder anhängige Behörden betroffen seien. Der Sprecher des Digitalministeriums erklärte, dass der Bundesclient als Standard-IT-Arbeitsplatz in der Bundesverwaltung stabil laufe. Dieser nutze Microsoft nicht in der Cloud, sondern werde auf eigener Infrastruktur betrieben. Jedoch nutzten noch nicht alle Behörden den Bundesclient, sondern dieser soll bis 2032 Standard in der gesamten Verwaltung werden. Der einheitliche E-Mail-Client in der Bundesverwaltung laufe stabil.

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Angaben der Microsoft-Ingenieure zufolge wurde auf betroffenen Servern ein Prozess überlastet, der für den Aufbau sicherer Verbindungen zuständig ist – woraufhin die Rechner keine Anfragen mehr verarbeiteten. Zudem machte der Konzern die jüngste Konfigurationsänderung rückgängig, die zeitlich mit dem Beginn der Störung zusammenfiel. Microsoft erklärte, man suche angesichts anhaltender Ungleichgewichte bei der Datenverkehrssteuerung nach Wegen, um die Kapazitäten zu erhöhen.

Ausfälle von Online-Diensten gehören zum Alltag – meist sind sie aber von kurzer Dauer. Manchmal sind die Probleme aber so gravierend, dass es zu stundenlangen Störungen kommt. Microsofts Cloud- und E-Mail-Dienste hatten erst Ende August einen stundenlangen großflächigen Ausfall durchlebt, bei dem sich Nutzer nicht einloggen oder Nachrichten senden und empfangen konnten.

In Australien fiel der Ausfall mitten in die Abschlussprüfungen. Schüler aus Melbourne berichteten dem Sender ABC, sie könnten sich nicht auf ausstehende Sprachprüfungen vorbereiten, weil sie weder auf Materialien noch auf die Website der Prüfungsbehörde zugreifen könnten. Auch Online-Unterricht an Berufsschulen über Microsoft Teams war betroffen. Arzttermine und Untersuchungen mussten verschoben werden. Der Ausfall führte zu Verzögerungen im Flugverkehr. In Sydney musste eine Maschine mit Ziel Papua-Neuguinea am Boden warten, weil der Kapitän seine für den Start erforderlichen Unterlagen nicht per Outlook erhalten hatte.


(nie)



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Rust als perfekte Sprache für Agentic AI: Online-Konferenz betterCode() Rust


Am 26. November 2026 findet die sechste Auflage der betterCode() Rust statt. Dieses Jahr legt die Online-Konferenz den Fokus auf agentengetriebene Entwicklung für Rust-Anwendungen.

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Die betterCode() Rust zeigt, welche Architekturen, Tools und Prozesse sich für die agentische Softwareentwicklung mit Rust eignen. Die Vorträge vermitteln Best Practices und Leitlinien, für welche Aufgaben man Agenten sinnvoll einsetzen kann und was man lieber noch selbst macht.

Das Programm der Konferenz bietet unter anderem folgende Vorträge:

  • Systems Design mit Rust und Agenten
  • Sokrates und die Wartbarkeit deiner Rust-Codebasis
  • Embedded Sensor mit Agentic Rust entwickeln
  • Harness Engineering: Rust als perfekte Sprache für agentische Entwicklung
  • Rust in the Age of Agents

Die Konferenztickets sind zum Preis von 299 Euro (alle Preise zzgl. 19 % MwSt.) erhältlich. Teams ab drei Personen erhalten im Online-Ticketshop automatisch einen Gruppenrabatt.

Am 2. Dezember findet zusätzlich der Workshop „Agent-Ready Rust: Harness Engineering für AI Coding Agents“ statt, der 549 Euro kostet.

Wer über den Verlauf der betterCode()-Konferenz auf dem Laufenden bleiben möchte, kann sich für den Newsletter eintragen.


(rme)



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Polarlicht bis Porträt: Licht und Himmel in den Bildern der Woche 46


In dieser Woche steht bei der Bildauswahl aus der c’t-Foto-Galerie der Himmel im Mittelpunkt: Mal dient er als Bühne für die Polarlichter über Norwegen, mal erscheint er als nebliges Grau über den Wolkenkratzern Londons und mal erstrahlt er in goldenem Morgenlicht über den Dächern Berlins. Was alle Aufnahmen verbindet, ist der konsequente Blick auf das Licht und die so geschaffene Atmosphäre. Dabei verändern sich die Stimmungen von Bild zu Bild und entfalten immer eine starke emotionale Wirkung.

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Dazu gesellen sich Motive, die auch die Vielfalt der fotografischen Genres in der Foto-Galerie zeigen: Ein Vogel, präzise aus seinem Umfeld herausgelöst, eine Möwe im Bruchteil einer Sekunde zwischen zwei Tauchgängen, ein gestrandetes Wrack, das durch Langzeitbelichtung und Schwarz-Weiß-Umsetzung zeitlos wirkt – und schließlich ein Porträt, in dem Licht und Schatten zur eigentlichen Aussage werden. Sieben Bilder, sieben Haltungen und eine große Sorgfalt im Blick.




Die Saison ist im vollen Gange

(Bild: Wolzow1902)

Wie vertikale Pinselstriche steigen grüne und violette Lichtbänder der Aurora vom Horizont in den tiefblauen Nachthimmel über Norwegen. Die dunkle Silhouette der Hügelkette am unteren Bildrand bildet eine ruhige Grundlinie, vor der sich das Polarlicht umso dramatischer entfaltet. Herbstlich gefärbtes Laub an den Bildrändern rahmt die Szenerie ein und schafft eine spannungsvolle Verbindung zwischen Vordergrund und Himmel. Die Farbskala von tiefem Blau über leuchtendes Grün bis zu zartem Violett verleiht dem Bild eine orchestrale Dynamik.




City of London

(Bild: M.Schröder)

Nebel verschluckt die Spitzen dieser Londoner Hochhäuser, er löst die Architektur nach oben hin in ein tonales Grau auf und erzeugt so eine atmosphärische Perspektive. Der zentrale Turm dominiert mit seinem Raster aus Glasflächen das Bild, während ein Baukran an der linken Flanke eine feine vertikale Linie setzt. Rechts schiebt sich ein zweites Gebäude mit markanter Stahlstruktur ins Bild und schafft so eine Staffelung der Bildebenen.




Eisvogel

(Bild: Lightpix84)

Ein Eisvogel sitzt auf einem Vorsprung am Wasser und blickt nach oben. Die Aufnahme entstand mit einem Teleobjektiv, das den Hintergrund in ein weiches Bokeh aus warmen Braun- und Grüntönen auflöst. Die geringe Schärfentiefe isoliert den Vogel präzise und lenkt die Aufmerksamkeit auf das leuchtende Türkisblau seines Gefieders, das im Komplementärkontrast zu den orangefarbenen Brustpartien steht. Der Bildaufbau platziert das Tier im unteren Drittel, sodass der weiche, fast malerische Hintergrund viel Raum erhält und eine ruhige Tiefenwirkung entsteht. Die nach oben gerichtete Kopfhaltung des Vogels führt den Blick entlang einer diagonalen Linie durch das Bild und verleiht der Szene eine gewisse Spannung.




Wenn Bäume mal richtig was hermachen

(Bild: ulwp6)

Aus erhöhter Position blickt die Kamera über eine weite, von Nebelschwaden durchzogene Berliner Landschaft bei Sonnenaufgang. Dutzende Bäume ragen aus dem flachen Dunst hervor und werfen lange, klar gezeichnete Schatten auf den Boden. Im Hintergrund zeichnet sich die Silhouette der Hauptstadt ab: Hochhäuser und der Fernsehturm verschwimmen im goldenen Dunst. Am Horizont schiebt sich die Sonne durch eine Wolkenbank und färbt den Himmel in kräftigen Orange- und Gelbtönen, während darüber bereits kühles Blau durchscheint.




Das Wrack

(Bild: Asfotografie)

Gestrandet und verwittert, und doch zieht es den ganzen Blick auf sich. In einer walisischen Bucht liegt dieses alte Boot wie ein Monument der Vergänglichkeit. Es ist umgeben von seidig verwischtem Wasser und ziehenden Wolken. Durch die Langzeitbelichtung wird alles ringsum zur Nebensache, nur das raue Holz des Rumpfes bleibt greifbar und präsent. Die Schwarz-Weiß-Darstellung nimmt der Szene jede Ablenkung und rückt Struktur und Stimmung in den Vordergrund. Ein Bild, das man lange betrachtet – und das dabei immer ruhiger wird.




… und in den Angriff übergehen

(Bild: Zika)

Rote Füße, nasses Gefieder und der Blick steil nach unten – diese Lachmöwe, die über dem Wasser kreist, zögert nicht. Gerade ist sie aus dem Wasser aufgestiegen und verharrt für einen Wimpernschlag in der Luft, die Flügel weit aufgespannt. Die feinen Spritzer unter ihr markieren den letzten Tauchgang, während der gesenkte Kopf bereits den nächsten ankündigt. Der ruhige, entsättigte Hintergrund isoliert den Vogel und verleiht dieser Vogelstudie eine fast grafische Klarheit.

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Bernadette

(Bild: Thomas Ruppel)

Licht, das Streifen malt, und ein Blick, der alles einfängt. Die diagonalen Schattenlinien der Jalousie legen sich wie ein grafisches Raster über Haut, Haar und Hintergrund und erzeugen ein spannungsreiches Muster. Die Schwarz-Weiß-Umsetzung dreht den Kontrast auf und verleiht dem Porträt eine fast skulpturale Wirkung. Die voluminösen Locken des Models brechen das strenge Linienspiel auf organische Weise auf, während die lässig an die Schulter gelegte Hand den Blick zurück zum intensiven Ausdruck lenkt. Hier trifft geometrische Strenge auf natürliche Form.


(vat)



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