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ASML Twinscan EXE:5200B: Intel nimmt erstes verbessertes High-NA-System in Betrieb
Im Juli hatte ASML die Auslieferung bestätigt, nun vermeldet Intel die Installation: ein Twinscan EXE:5200B soll den Weg zur Serie ebnen. Denn der größte Fortschritt hier ist der viel höhere Durchsatz pro Stunde, der zur wirtschaftlich tragbaren Serienfertigung auch benötigt wird.
Das erste B-System bildet die Grundlage auch für die kommenden Modelle. Ab 2027 und damit wohl pünktlich zur anvisierten Fertigung von Intel 14A soll die C-Serie bereitstehen, die noch etwas mehr Leistung und Ausstoßkapazität verspricht. Wie alle modernen ASML-Systeme lassen sich die bereits gekauften Lösungen auf den letzten Stand aufwerten.
