Mega-Bestellung: SK Hynix kauft EUV-Systeme für 6,9 Mrd. Euro bei ASML ein

SK Hynix macht beim Kapazitätsausbau ernst und gibt eine riesige Bestellung von EUV-Systemen bei ASML in den Niederlanden auf. Der südkoreanische Speicherriese will damit bereits bis Ende 2027 seine Fabriken aufrüsten und die Kapazität für DRAM und NAND deutlich steigern.

In einer Börsen-Pflichtmitteilung von SK Hynix, die via Südkoreas DART-System (Data Analysis, Retrieval and Transfer System) einsehbar ist, bestätigt das Unternehmen die Absicht, für 6,913 Milliarden Euro bei ASML EUV-Systeme zu kaufen. Beachtlich ist dabei, wie schnell das doch am liebsten gehen soll: Das Geld wird bis Ende Dezember 2027 zur Verfügung stehen, die Order soll binnen zwei Jahren vollendet sein. Bereits im Herbst des letzten Jahres war vermutet worden, dass SK Hynix eine Bestellung von bis zu 20 EUV-Systemen aufgeben könnte.

Für knapp sieben Milliarden Euro Belichtungsmaschinen für Speicherfabriken auf einen Schlag zu ordern ist bisher ziemlich einzigartig. Denn die Speicherhersteller sind anders als Logic-Fertiger wie TSMC viel vorsichtiger und langsamer beim Umstieg auf EUV gewesen, belichten so auch heute oft nur eine Handvoll Lagen – wenn überhaupt – mit EUV, um danach mit klassischen DUV-Scannern weiterzuarbeiten. Doch mit zunehmendem Fortschritt wird das in Zukunft auch hier mehr – genau dafür wappnet sich SK Hynix nun. Das Unternehmen gehörte ohnehin aber bereits zu den Herstellern, die EUV eher früh ausprobiert haben, schon seit 2021 wird es in den Anlagen genutzt.

Für 6,9 Milliarden Euro gibt es viele Maschinen

Was genau bestellt wird, darüber gibt es keine genauen Details, sie sind Bestandteil der Verträge und darin auch ausgehandelten Preise. Denn wie in jeder Branche gibt es bei bestimmten Volumen zu gewissen Konditionen auch dort Rabatte oder Service-Pakete, die das ganze abrunden. Für 6,9 Milliarden Euro könnte es theoretisch fast 30 EUV-Systeme geben, deren Preis bei der neuesten Ausführung NXE:3800E nun wohl knapp über der 200-Millionen-Euro-Marke liegen dürfte.

Sollte im Bestellumfang aber auch das eine oder andere High-NA-EUV-System dabei sein, von dem SK Hynix auch schon eines der aktuellsten Sorte in der Erprobung nutzt, fällt die Order gleich deutlich anders aus: Diese Maschinen kosten eher 350 bis 400 Millionen Euro.

Eine der neuen Fabriken von SK Hynix auf der Mega-Baustelle im Yongin Semiconductor Cluster dürfte unter anderem das Ziel der Belichter werden. Hier entstehen riesige Fabrikgebäude, die voll ausgebaut in sechs Reinräumen auf vielen Etagen in Zukunft riesige Mengen an Speicher produzieren. Die EUV-Belichter dürfte aber auch im Fabrikausbau M15X in Cheongju als auch der Fab M16 in Icheon eingesetzt werden.