Lithografie-Systeme: US-Ausschuss will strengere Regeln für China

Ein Untersuchungsausschuss des US-Repräsentantenhauses will Chinas Halbleiterindustrie noch härter rannehmen als bisher. In einem Bericht wirbt der parteiübergreifende Ausschuss für deutlich strengere Exportregeln für Hersteller von Systemen, die für die Chipfertigung notwendig sind.

Im Fokus stehen der niederländische Weltmarktführer für Lithografie-Systeme ASML, Tokyo Electron aus Japan sowie die drei US-Zulieferer Applied Materials, KLA und Lam Research. Sie bauen etwa Anlagen zum Ätzen der Siliziumwafer und für die weitere Verarbeitung.

Langjährige Tradition

Die ersten Exporteinschränkungen verfügte die US-Regierung bereits in den späten 2010er-Jahren: Die USA drängten die Niederlande, ASML keine Lithografie-Systeme mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik nach China verkaufen zu lassen. Chipauftragsfertiger wie TSMC und Samsung setzen sie seit der 7-Nanometer-Generation ein, da sie zuverlässiger feine Strukturen abbilden können als vorherige Systeme mit tief-ultravioletter Belichtungstechnik (Deep Ultraviolet, DUV).

2023 folgten härtere Bestimmungen, die bis heute ASMLs modernsten DUV-Systeme betreffen: Die Firma darf nur noch ältere Varianten an chinesische Hersteller verkaufen, die etwa bei der Ausrichtung der zu belichtenden Wafer limitiert sind.

Der US-Ausschuss lamentiert jetzt, dass China seine Halbleiterindustrie trotz Sanktionen erheblich weiter ausbaut. Als Beispiel führt er 7-Nanometer-Chips an, die der chinesische Chipauftragsfertiger SMIC für Huawei mit Mehrfachbelichtungen herstellt.

ASML, Tokyo Electron, Applied Materials, KLA und Lam Research sollen 2024 zusammen rund 38 Milliarden US-Dollar mit Verkäufen an chinesische Firmen eingenommen haben. Das entspräche 39 Prozent von deren Gesamtjahresumsatz. Auf ASML allein entfallen gut 10 Milliarden, wie der Hersteller in seinem eigenen Geschäftsbericht offenlegt.

Strengere Regeln

Im Fokus des Berichts stehen Lieferungen an SMIC, aber auch die Chipauftragsfertiger Pengxinwei (PXW) und Shenzhen Pensun (PST) sowie Speicherhersteller wie YMTC und SwaySure Technology. Einige der Firmen arbeiten eng mit Huawei zusammen, der inzwischen eigene Halbleiterwerke betreiben soll.

Der Ausschuss will zum einen, dass einige der härteren Exporteinschränkungen nicht mehr an Firmen wie Huawei gekoppelt sind, sondern für ganz China gelten. Zum anderen sollen noch mehr Systeme unter die Einschränkungen fallen. Hersteller dürften dann nur noch ältere Typen exportieren, wenn überhaupt.

(mma)