Röntgenlithografie: US-Startup Substrate will ASML und TSMC herausfordern

US-Medien verbreiten die Botschaft, dass das US-Startup Substrate gleichzeitig den Industriegiganten ASML und TSMC Konkurrenz machen will. Der Teufel steckt aber im Detail, denn das, was ASML und TSMC am Ende bieten, ist die Fähigkeit, kleinste Fertigungen in millionenfacher Stückzahl bei extrem hoher Ausbeute zu liefern.

Substrate, wie sich das Startup aus San Francisco nennt, setzt auf die sogenannte Röntgenlithografie. Diese ist im Ursprung noch älter als viele andere Lithografiemethoden. Auch haben sich im Laufe der Jahrzehnte alle Firmen, die im Foundry-Geschäft tätig waren, einmal in diese Richtung orientiert und an den Möglichkeiten geforscht, dies aber in den meisten Fällen bereits in den 90er Jahren wieder aufgegeben.

Mit in den letzten Jahren mehrfach überarbeiteten, selbst gebauten Systemen war es dem Startup nun wohl möglich, erste Muster zu erstellen, die dem eines aktuellen ASML-Systems entsprechen. Genau dort setzt die US-Berichterstattung an.

Die Berichterstattung verkauft dabei auch den typischen amerikanischen Traum: Ein College-Abbrecher will die Industrie revolutionieren. Mit einem Thiel Fellowship des Unternehmers Peter Thiel hat der Gründer von Substrate bereits zuvor zwei Startups hervorgebracht, nun soll das ganz große Ding folgen. Von einigen Unternehmen gab es dafür auch erstes Geld, 100 Millionen US-Dollar konnte sich Substrate so sichern.

Aber man braucht mehr. Viel mehr Geld.

Schon unter der Biden-Administration wollte Substrate 1 Milliarde US-Dollar aus öffentlicher Hand für weitere Forschung und Entwicklung, berichtet die New York Times. Doch daraus wurde nichts, die Vergabestelle hatte einige Zweifel am Vorhaben.

Im letzten Jahr gab es zudem Gespräche mit einer Universität. 10 Milliarden US-Dollar würde Substrate der Bau einer Fabrik kosten, heißt es dazu. Auch hier blieben aber wohl so viele Fragen ungeklärt, dass es zu keiner Einigung kam.

Neuerdings suchen die Gründer die Nähe zu aktuellen US-Politikern. Bei JD Vance und Howard Lutnick haben sie wohl schon mehrfach vorgesprochen. Da die US-Regierung heimische Halbleiterindustrie sehen will, winkt hier eventuell schnell und vielleicht einfach viel Geld.

Substrate will am Ende eine amerikanische Foundry bauen und eigene Tools nutzen. Sie wollen quasi ASML und TSMC zugleich ersetzen – daran zweifeln aber Analysten, wie sie beispielsweise Bloomberg zitiert. Dafür braucht es unzählige Partner und ein Ökosystem, welches die anderen Firmen über Jahrzehnte etabliert haben.

Ein Muster ist einfach. Millionen nicht.

Und was bei all den Angaben und Vergleichen zu ASML und am Ende auch TSMC nicht berücksichtigt wird, ist das Endprodukt. Ein Muster in kleinsten Nanometern zu fertigen funktioniert auch mit anderen Technologien, wie beispielsweise mit Canon Nanoimprint. Doch das Ganze in millionenfacher Stückzahl in schneller Folge zu ermöglichen, bei gleichzeitig extrem hoher Ausbeute (Yield), das ist am Ende der heilige Gral der Chipindustrie, darüber herrscht schnell Einigkeit. Wohl auch deshalb zeigt sich die ASML-Aktie unbeeindruckt von Substrate und steht mit einem Plus heute auf neuem Rekordwert.