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Bessere Lichtquelle für EUV: ASML sieht Skalierbarkeit von 600 zu 1.000 und gar 2.000 Watt
Bild: ASML ASML will die Leistungsfähigkeit der Lichtquelle in EUV-Systemen deutlich verstärken. Auf 600 soll nun 1.000 Watt folgen – später gar bis zu 2.000 Watt; zumindest sei...
